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华为公司申请半导体结构及其制备方法、电子设备专利,进一步提高半导体结构的电子迁移率

发布者: admin | 发布时间: 2024-4-14 15:26| 查看数: 235| 评论数: 0|帖子模式

金融界2024年4月5日消息,据国家知识产权局公告,华为技术有限公司申请一项名为“半导体结构及其制备方法、电子设备“,公开号CN117832268A,申请日期为2022年9月。

专利摘要显示,本申请实施例提供一种半导体结构及其制备方法、电子设备,涉及半导体技术领域,用于进一步提高半导体结构的电子迁移率。半导体结构的制备方法包括:形成位于半导体衬底上的栅极和栅极侧墙,栅极侧墙设置在栅极的侧面,以及对栅极相对两侧的半导体衬底进行掺杂和第一非晶化离子注入,形成第一区域和第二区域;对第一区域和第二区域中至少一个进行第二非晶化离子注入;第二非晶化离子注入的深度大于第一非晶化离子注入的深度;形成应力层,应力层至少覆盖第一区域、第二区域、栅极以及栅极侧墙;进行退火,以使得第一区域形成源极,第二区域形成漏极,且源极和漏极中至少一个内形成位错。

本文源自金融界

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